เจ้าศิริประกาย ณ เชียงใหม่ เป็นธิดาในเจ้าแก้วนวรัฐ เจ้าผู้ครองนครเชียงใหม่ องค์ที่ 9 กับหม่อมบัวเขียว ณ เชียงใหม่ มีเจ้าพี่เจ้าน้องร่วมหม่อมมารดาคือ เจ้าพงษ์อินทร์ และเจ้าอินทนนท์ ณ เชียงใหม่ และมีเจ้าพี่ต่างมารดาอีกสามคน เจ้าศิริประกายสมรสกับเจ้ากาวิละวงศ์ ณ เชียงใหม่ มีบุตร-ธิดา 3 คน คือ เจ้าพงษ์กาวิล ณ เชียงใหม่ สมรสกับงามวิไล (สกุลเดิม สุกัณศีล) และสมรสอีกครั้งกับบุญประกอบ (สกุลเดิม ส่วยสุวรรณ) เจ้าศิริกาวิล สิงหรา ณ อยุธยา เจ้ากอแก้วประกายกาวิล ณ เชียงใหม่ สมรสและหย่ากับพลตำรวจโท ทิพย์ อัศวรักษ์ มีบุตรหนึ่งคน เจ้าศิริประกาย ณ เชียงใหม่ เสียชีวิตในวันที่ 25 มกราคม พ.ศ. 2482 ที่โรงพยาบาลแมคคอร์มิค จังหวัดเชียงใหม่ และจัดพิธีศพ ณ คุ้มท่าเจดีย์กิ่ว